潔凈廠房排氣系統(tǒng)基本要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2024-02-28
由于電子工業(yè)潔凈廠房各類工藝排氣中的組分十分復雜，有的工序或設備的工藝排氣中有害物質(zhì)的濃度還可能較高，因此在國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB 50472） 中對排風系統(tǒng)設計作了如下規(guī)定：
1.排風介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，其排風機和處理設備應設備用，并應設置應急電源。排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，其排風機應設備用，并應設置應急電源。
2.排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內(nèi)這些物質(zhì)的濃度不大于爆炸下限的 20%計。
3.排除有爆炸危險的氣體和粉塵潔凈廠房的排氣設施的局部排風系統(tǒng)，應設置消除靜電的接地裝置。氣管路、應保持相對于路由區(qū)城一定的負壓值，對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排放。
上述規(guī)定是依據(jù)近年來電子工業(yè)潔凈廠房工程的設計實踐和已經(jīng)投人運行的相關工程項目的安全可靠運營的經(jīng)驗總結，并且參照了國外相關標準的技術要求。在美國消防協(xié)會 (NFPA) 2018年版的 《半導體制造的消防標準》(NFPA 318） 中要求：“排風系統(tǒng)應設有自動應急電源；應急電源工作時，應達到不低于排氣系統(tǒng) 50%的容量；使用可燃、易燃氣體或化學品的設備，應設有可燃、易燃氣體或蒸汽濃度低至爆炸下限 20%以下的排氣系統(tǒng)。
據(jù)了解，國內(nèi)已經(jīng)建成投運或正在建設的微電子生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的可燃、易燃氣體或蒸汽和粉塵的排風系統(tǒng)，為確保潔凈廠房的安全可靠性、排風系統(tǒng)的排風量均應達到在正常運行或事故情況下，排風管內(nèi)這些有害物質(zhì)的濃度不得大于該物質(zhì)爆炸下限的20%計。為此在排風系統(tǒng)設有吸人房間空氣的自動裝置，并在排風管內(nèi)設有氣體濃度報警裝置，當排風系統(tǒng)中的有害物質(zhì)派度超過規(guī)定值時，在進行報警的同時，自動開啟吸人空氣降低排風中有害物質(zhì)的裝置，使排風系統(tǒng)總是不會因意外火源引發(fā)著火事故潔凈室（區(qū)）及其上、下技術夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠房中含有有毒可燃、 易燃物質(zhì)的排氣系統(tǒng)一旦發(fā)生泄漏事故將會帶來十分嚴重的安全隱患，一旦超出規(guī)定限值可能使作業(yè)人員中毒甚至發(fā)生著火事故，所以相關規(guī)范中規(guī)定含有毒和易燃、易爆等危險物質(zhì)的排風系統(tǒng)的排風機、處理設備均應設置備用電源、備用風機，以防止排氣系統(tǒng)不正常停機事故的發(fā)生；并且這類排風系統(tǒng)內(nèi)應保持相對于風管路由區(qū)城一定的負壓值，以避免發(fā)生泄漏事故。不僅如此，在相關規(guī)范中還規(guī)定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險物質(zhì)的生產(chǎn)工藝設備的‘氣體分配箱”、排風管道連接處和相應的潔凈室（區(qū)）的室內(nèi)環(huán)境設有氣體泄漏報警裝置，為避免因危險物質(zhì)的泄漏超過規(guī)定限值引發(fā)安全事故的發(fā)生，并應設置氣體報警裝置與排風風機的自動連鎖控制。
潔凈廠房排氣 （廢氣）系統(tǒng)的設計建造安全技術措施主要有如下基本要求。
①排氣系統(tǒng)應具有連續(xù)不斷運行的功能，這是確保潔凈廠房安全穩(wěn)定運行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)過程不被玷污的必需的技術措施。如果潔凈廠房內(nèi)某排氣系統(tǒng)因安全技術措施出現(xiàn)故障導致其中斷運行，將會使該排氣系統(tǒng)涉及的潔凈室（區(qū)）及其范圍內(nèi)生產(chǎn)工藝設備產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)生的有害物質(zhì)散發(fā)到相關房間內(nèi)，其嚴重后果是不言而喻的。此，“連續(xù)運行”是潔凈廠房排氣系統(tǒng)首要的安全技術措施基本要求。
② 潔凈廠房中各類排氣應嚴格遵守 “不準混排”或應按廢氣種類和不相容原則分類、分系統(tǒng)設置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible）是化學物質(zhì)經(jīng)由非故意的結合，可能產(chǎn)生劇烈的反應或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。在電子工業(yè)集成電路、液晶顯示器面板等產(chǎn)品生產(chǎn)中，由于其生產(chǎn)過程需用數(shù)十種不同物化性質(zhì)的化學品、特種氣體，因此在這類潔凈廠房內(nèi)的排氣系統(tǒng)必須十分嚴格執(zhí)行“不準混排”“按不相容原則分類、分系統(tǒng)”，以確保潔凈廠房的安全穩(wěn)定運行。例如在 GB 51401 中明確規(guī)定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應單獨設置皮氣系統(tǒng)，外延尾氣處理系統(tǒng)應單獨設置等
③各類排氣系統(tǒng)設計建造和運行應具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術措施。簽于各類排氣系統(tǒng)中排出的介質(zhì)分別或同時具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風系統(tǒng)泄漏到所涉及的環(huán)境，將可能引發(fā)火災、爆炸、中街等危區(qū)生命財產(chǎn)的重大災難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統(tǒng)安全技術措施的重要基本要求。
④依據(jù)排氣系統(tǒng)排出廢氣的有害物質(zhì)，例如有火災、爆炸、有毒等危及生命財產(chǎn)安全的物質(zhì)，在生產(chǎn)工藝設備排出口或在現(xiàn)場排氣處理裝置(POU） 等排出口，進入排風管道處的有告濃度應有嚴格限制，以確保排風管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設備區(qū)其周圍環(huán)境的安全。在標淮規(guī)范中明確規(guī)定的有．燒類尾氣處理系統(tǒng)處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運行過程中排氣管道內(nèi)“超過限值”，通常應設有稀釋措施；當采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機物廢氣時，濃縮后的揮發(fā)性有機物廢氣濃度不應大于燃燒范圍下限的 50%等
